Waa maxay bartilmaameedka polysilicon

Polysilicon waa shay muhiim ah oo la beegsanayo.Isticmaalka habka sputtering magnetron si aad u diyaariso SiO2 iyo filimada kale ee khafiifka ah ka dhigi kartaa matrix ah in ay leeyihiin si fiican indhaha, dielectric iyo iska caabin daxalka, kaas oo si weyn loo isticmaalo in shaashadda taabashada, indhaha iyo warshadaha kale.

Habka loo tuuro kiristaalo dheer waa in la ogaado xoojinta jihada ee Silicon dareere ka hooseeya ilaa sare si tartiib tartiib ah iyadoo si sax ah loo xakameynayo heerkulka kuleyliyaha ee beerta kulul ee foornada ingot iyo kala daadinta kulaylka ee alaabta dahaarka kulaylka, iyo Xawaaraha kiristaalo dheer ee adkeynta waa 0.8 ~ 1.2cm / h.Isla mar ahaantaana, habka xoojinta jihada, saameynta kala soocida walxaha birta ah ee alaabta silikon waa la ogaan karaa, inta badan walxaha birta ah waa la nadiifin karaa, iyo qaab-dhismeedka silikoon polycrystalline lebbiska ah ayaa la samayn karaa.

Ku shubista polysilicon waxay sidoo kale u baahan tahay in si ula kac ah loogu daro habka wax soo saarka, si loo beddelo xoojinta wasakhda aqbalka ah ee dhalaalka silikoon.Dopant-ka ugu weyn ee nooca p-polysilicon kabka ee warshadaha waa silicon boron master alloy, kaas oo ka kooban boron ku saabsan yahay 0.025%.Qadarka doping-ka waxaa lagu go'aamiyaa caabbinta bartilmaameedka ee waferka silikoon.Iska caabbinta ugu fiican waa 0.02 ~ 0.05 Ω • cm, iyo feejignaanta boron ee u dhiganta waa qiyaastii 2 × 1014cm-3. Si kastaba ha ahaatee, isku-dhafka boron ee silikon waa 0.8, taas oo muujin doonta saameyn gaar ah oo ku saabsan habka xoojinta jihada, in waa, curiyaha boron waxaa loo qaybiyaa gradient ee jihada toosan ee xuubka, iyo iska caabintu si tartiib tartiib ah hoos ayuu u dhacayaa ilaa sare ee gogosha.