1. Diyaarinta xajinta
Aad bay muhiim u tahay in la ilaaliyo qolka faakuumka, gaar ahaan nidaamka xashiishka.Hadhaaga kasta oo lagu sameeyo saliidda saliidda, boodhka iyo dahaarka hore waxay soo ururin doonaan uumiga biyaha iyo wasakhowga kale, taas oo si toos ah u saameyn doonta heerka faakuumka waxayna kordhin doontaa suurtogalnimada sameynta filim-ku-gudbinta.Wareegga gaaban ama goosashada bartilmaameedka, oogada filimka qallafsan iyo waxa ku jira wasakhda kiimikada ee xad dhaafka ah waxaa inta badan sababa qolka tufaaxa aan nadiifta ahayn, qori tuurka iyo bartilmaameedka.Si loo hoggaansamo sifooyinka halabuurka ee daahan, waxaa lagama maarmaan ah in la nadiifiyo oo la qalajiyo gaaska qulqulaya (argon ama oksijiin).Ka dib markii substrate-ka lagu rakibo qolka sputtering, hawadu waxay u baahan tahay in la soo saaro si loo gaaro faakuumka loo baahan yahay habka.Daboolka gaashaanka ee aagga mugdiga ah, gidaarka daloolka iyo dusha ku xiga ayaa sidoo kale u baahan in la nadiifiyo.Markaan nadiifineyno qolka faakuumka, waxaan ku talineynaa isticmaalka qarxinta kubbadda dhalada si aan u daaweyno qaybaha boodhka ah, oo ay weheliso hawo ciriiri ah si aan uga saarno hadhaaga hore ee qolka agagaarka qolka, ka dibna si aamusnaan leh dusha dibadda ugu nadiifi warqad ciid almina leh.Ka dib marka la nadiifiyo xaashida faashad, waxaa lagu nadiifiyaa aalkolo, acetone iyo biyo la shubay.Si wada jir ah, waxay u ololaynaysaa isticmaalka nadiifiyaha faakuumka warshadaha ee nadiifinta caawinta.Bartilmaameedyada ay soo saartay birta Gaozhan waxaa lagu soo raray bacaha balaastiga ah oo faaruq ah,
Lagu dhisay wakiilka qoyaanka ilaalinaya.Markaad isticmaalayso bartilmaameedka, fadlan si toos ah gacantaada ha ugu taaban bartilmaameedka.Fiiro gaar ah: marka aad isticmaalayso yoolka, fadlan xidho galoofyada dayactirka oo nadiif ah oo aan daboolnayn.Waligaa si toos ah gacmahaaga ha ugu taaban bartilmaameedka
2. Nadiifinta bartilmaameedka
Ujeedada nadiifinta bartilmaameedku waa in laga saaro boodhka ama wasakhda ka jiri kara dusha bartilmaameedka.
Bartilmaameedka birta waxaa lagu nadiifin karaa afar tallaabo,
Tallaabada ugu horreysa waa in lagu nadiifiyo maro jilicsan oo bilaash ah oo lagu qooyay acetone;
Tallaabada labaad waxay la mid tahay tallaabada koowaad, nadiifinta khamriga;
Talaabada 3: ku nadiifi biyo dheecan.Ka dib markaad ku dhaqdo biyo la miiray, dhig bartilmaameedka foornada oo ku qalaji 100 ℃ 30 daqiiqo.
Nadiifinta bartilmaameedyada oksaydhka iyo dhoobada waa in lagu sameeyaa "maro xor ah".
Talaabada afraad waa in bartilmaameedka lagu dhaqo argon leh cadaadis sare iyo gaasta biyaha yar ka dib marka laga saaro meesha boodhka ah, si meesha looga saaro dhammaan walxaha wasakhda ah ee laga yaabo inay sameeyaan arc ee nidaamka xajinta.
3. Qalabka bartilmaameedka ah
Habka rakibaadda bartilmaameedka, Z taxaddarrada muhiimka ah ayaa ah in la hubiyo isku xirka kulaylka wanaagsan ee u dhexeeya bartilmaameedka iyo darbiga qaboojinta ee qoriga tufaaxa.Haddii baalka dagaal ee ul qaboojintu uu daran yahay ama uu ba'an yahay wargayska saxan dambe, aaladda la beegsanayaa way dillaaci doontaa ama leexanaysaa, heerkulka kulaylka ee ka imanaya bartilmaameedka dambe ilaa bartilmaameedka ayaa si weyn loo saameeyaa, taas oo keenta in uu ku guuldareysto kulaylka. inta lagu guda jiro geeddi-socodka tufaaxa, iyo bartilmaameedku wuu dillaaci doonaa ama waayi doonaa
Si loo hubiyo dhaqdhaqaaqa kulaylka, lakabka xaashida garaafka ayaa lagu dhejin karaa inta u dhaxaysa derbiga qaboojinta cathode iyo bartilmaameedka.Fadlan fiiro gaar ah u yeelo si aad si taxadar leh u hubiso oo aad u caddeyso fidsanaanta gidaarka qaboojinta ee qoriga wax lagu shubo ee loo isticmaalo si loo hubiyo in O-ring uu had iyo jeer jiro.
Maaddaama nadaafadda biyaha qaboojinta ee la isticmaalo iyo boodhka ka iman kara inta lagu jiro hawlgalka qalabka lagu shubayo haanta biyaha qaboojinta ee cathode, waxaa lagama maarmaan ah in la hubiyo oo la nadiifiyo haanta biyaha qaboojinta ee cathode marka la rakibayo bartilmaameedka si loo hubiyo habsami u socodka. wareegga biyaha qaboojinta iyo in meesha laga soo galo ama laga baxo aan la xannibin.
Qaar ka mid ah cathodes ayaa loo qorsheeyay inay yeeshaan meel yar oo anode ah, markaa marka la rakibayo bartilmaameedka, waxaa loo baahan yahay in la hubiyo in aysan jirin taabasho ama kirishbooyada u dhexeeya cathode iyo anode, haddii kale wareegga gaaban ayaa dhacaya.
Tixraac Buugga hawlwadeenka qalabka wixii macluumaad ah ee ku saabsan sida saxda ah ee bartilmaameedka loogu shaqeeyo.Haddii aysan jirin macluumaadka noocaas ah ee buug-gacmeedka isticmaalaha, fadlan isku day inaad ku rakibto qalabka sida waafaqsan talooyinka la xiriira ee ay bixiso Gaozhan birta.Markaad adkeeyso goobta la beegsanayo, marka hore ku adkee gacanta hal baaldi, ka dibna ku adkee bololo kale oo dhinaca dhinaca gacanta ah.Ku celi tan ilaa dhammaan boolasha qalabka la adkeeyo, ka dibna ku adkee wax.
4. Kormeer gaaban iyo kormeer cidhiidhi ah
Ka dib marka la dhammeeyo qalabka bartilmaameedka ah, waxaa loo baahan yahay in la hubiyo wareegga gaaban iyo ciriiriga cathode oo dhan,
Waxaa la soo jeediyay in la go'aamiyo in uu jiro wareegga gaaban ee cathode iyada oo la adeegsanayo mitirka caabbinta
Takoorka safka ah.Ka dib markii la xaqiijiyo in aysan jirin wareeg gaaban oo ka mid ah cathode, waxaa la samayn karaa ogaanshaha qulqulka, iyo biyaha ayaa la gelin karaa cathode si loo xaqiijiyo in ay jirto biyo-bax.
5. Bartilmaameed ka hor xafida
Bartilmaameedka hore u dhuuxa wuxuu u doodaa xasarada argon saafi ah, kaas oo nadiifin kara dusha bartilmaameedka.Marka bartilmaameedka hore loo sii tufo, waxaa lagu talinayaa in si tartiib tartiib ah loo kordhiyo awoodda xajinta, iyo kororka kororka bartilmaameedka dhoobada waa 1.5WH / cm2.Xawaaraha horudhaca ah ee bartilmaameedka birta wuxuu noqon karaa mid ka sarreeya kan bartilmaameedka dhoobada, iyo kororka macquulka ah ee kororka waa 1.5WH / cm2.
Inta lagu jiro geeddi-socod ka hor, waxaan u baahannahay inaan hubinno qulqulka bartilmaameedka.Wakhtiga ka-hortagga faafinta guud ahaan waa ilaa 10 daqiiqo.Haddii aysan jirin ifafaale dhirbaaxo ah, si joogto ah u kordhi awoodda wax-soo-saarka
Ku socota awoodda go'an.Marka loo eego waayo-aragnimada, awoodda wax-soo-saarka sare ee Z ee la aqbali karo ee bartilmaameedka birta waa
25watts / cm2, 10watts / cm2 ee bartilmaameedka dhoobada.Fadlan tixraac saldhigga dejinta iyo waayo-aragnimada cadaadiska qolka faakuumka inta lagu jiro tufaaxidda buug-gacmeedka nidaamka isticmaalaha.Guud ahaan, waa in la hubiyaa in heerkulka biyaha ee ka soo baxa biyaha qaboojinta uu ka hooseeyo 35 ℃, laakiin Z waa muhiim in la hubiyo in nidaamka wareegga wareegga biyaha qaboojinta ay si wax ku ool ah u shaqeyn karaan.
Wareegga degdega ah ee biyaha aad u qaboojintu waxay kaxaysaa kulaylka, taas oo ah dammaanad muhiim ah si loo hubiyo in ay si joogto ah u tufaan awood sare.Bartilmaameedyada birta ah, waxaa guud ahaan loo ololeeyaa in socodka biyaha qaboojinta uu yahay
20lpm cadaadiska biyaha waa qiyaastii 5gmp;Bartilmaameedyada dhoobada, guud ahaan waxaa lagu talinayaa in socodka biyuhu yahay 30lpm cadaadiska biyuhuna uu yahay ilaa 9gmp
6. Dayactirka bartilmaameedka
Si looga hortago wareegga gaaban iyo qulqulka ay sababto dalool aan nadiif ahayn oo ku jira geeddi-socodka qulqulka, waxaa lagama maarmaan ah in meesha laga saaro sputter-ka ku urursan bartamaha iyo labada dhinac ee jidka qulqulka ee marxaladaha.
Tani waxay sidoo kale ka caawisaa isticmaalayaasha inay si joogto ah ugu tufaan cufnaanta tamarta sare
7. Kaydinta bartilmaameedka
Bartilmaameedyada ay bixiso birta Gaozhan waxaa lagu baakadeeyay bac laba-lakab ah oo faakuum ah.Waxaan u doodaa isticmaalayaashu inay bartilmaameedyada, hadday yihiin biraha ama dhoobada, ku hayaan baakadaha faakuumka.Gaar ahaan, bartilmaameedyada isku xidhka waxay u baahan yihiin in lagu kaydiyo xaalado faaruq ah si looga hortago oksaydhka lakabka isku xidhka inay saameeyaan tayada isku xidhka.Marka la eego baakadaha bartilmaameedyada birta ah, waxaan ku talineynaa in Z lagu xiro bacaha nadiifka ah
Waqtiga boostada: Meey-13-2022