Farqiga u dhexeeya bartilmaameedka elektiroonigga ah iyo bartilmaameedka sputtering

Iyada oo la hagaajinayo heerarka nolosha dadka iyo horumarinta joogtada ah ee sayniska iyo tignoolajiyada, dadku waxay leeyihiin shuruudo sare oo sarreeya oo loogu talagalay waxqabadka xirashada, daxalka u adkaysta iyo heerkulka sare ee u adkaysta alaabta daahan qurxinta.Dabcan, dahaarka ayaa sidoo kale qurxin kara midabka walxahan.Dabadeed, waa maxay farqiga u dhexeeya daawaynta bartilmaameedka korantada iyo bartilmaameedka sputtering?U ogolow khubarada Waaxda Tignoolajiyada ee RSM inay kuu sharxaan.

　　Bartilmaameedka korantada

Mabda'a koronto-ku-samaynta wuxuu la socdaa kan nadiifinta korantada ee naxaasta.Marka elektaroonigga ah, electrolyte ka kooban ions biraha lakabka dahaadh ah ayaa guud ahaan loo isticmaalaa si loo diyaariyo xal dajinta;Ku dhajinta alaabta birta ah ee lagu dhejiyo xalka dhejinta oo lagu xiro korantada taban ee korontada DC sida cathode;Birta dahaarka leh waxaa loo isticmaalaa sida anode-ka oo lagu xiro korantada togan ee korontada DC.Marka korantada hoose ee DC la codsado, birta anode-ku waxay ku milmaysaa xalka waxayna noqotaa cation waxayna u guurtaa cathode.Iions-yadani waxay ka helaan electrons-ka cathode waxayna hoos u dhigaan birta, kuwaas oo ku daboolan alaabta birta ah ee lagu dhejiyo.

　　Beegsiga Tufaaxa

Mabda'a badanaa waa in la isticmaalo dareeraha dhalaalaysa si loo duqeeyo ions argon ee dusha bartilmaameedka ah, iyo atamka bartilmaameedka ayaa la soo saaraa oo lagu dhejiyaa dusha sare ee substrate si loo sameeyo filim khafiif ah.Guryaha iyo isku-duubnida aflaanta sputtered ayaa ka wanaagsan kuwa uumiga lagu shubo, laakiin xawaaraha dhigista ayaa aad uga gaabiya kan filimada lagu shubo uumiga.Qalabka sputtering cusub ku dhawaad ​​isticmaalaan magnets xoog leh in electrons wareega si ay u dardar ionization of argon agagaarka bartilmaameedka, taas oo kordhisa itimaalka isku dhaca u dhexeeya bartilmaameedka iyo ions argon iyo hagaajinaysaa heerka sputtering.Inta badan aflaanta dahaadhida birta ah waa firidhsan DC, halka agabka magnetic dhoobada aan shaqaynayn ay yihiin RF AC sputtering.Mabda'a aasaasiga ah waa in la isticmaalo dareeraha dhalaalka ee faakuumka si loogu duqeeyo dusha sare ee bartilmaameedka leh ions argon.Katiinadaha ku jira balasmaha ayaa soo dedejin doona si ay ugu degdegaan dusha korantada taban sida walaxda la daadiyay.Duqeymahan ayaa ka dhigi doona walxaha bartilmaameedka ah inay soo baxaan oo ay dhigaan substrate-ka si ay u sameeyaan filim khafiif ah.

　　Shuruudaha xulashada agabka la beegsanayo

(1) Bartilmaameedku waa inuu lahaadaa awood farsamo oo wanaagsan iyo xasilloonida kiimikada ka dib sameynta filimka;

(2) Qalabka filimka ee filimka falcelinta falcelinta ah waa inuu ahaadaa mid sahlan si loo sameeyo filim isku dhafan oo leh gaaska falcelinta;

(3) Bartilmaameedka iyo substrate-ka waa in si adag loo soo ururiyaa, haddii kale, walxaha filimka leh ee xoogga wanaagsan ee substrate-ka waa in la qaataa, iyo filimka hoose waa in marka hore la daadiyaa, ka dibna lakabka filimka loo baahan yahay waa in la diyaariyaa;

(4) Marka la eego shuruudaha buuxinta shuruudaha waxqabadka filimka, farqiga yar ee u dhexeeya isugeynta fidinta kulaylka ee bartilmaameedka iyo substrate-ka, ayaa ka sii wanaagsan, si loo yareeyo saameynta kuleylka kuleylka ee filimka la daadiyay;

(5) Marka loo eego shuruudaha codsiga iyo waxqabadka filimka, bartilmaameedka loo isticmaalo waa inuu buuxiyaa shuruudaha farsamada ee nadiifnimada, nuxurka wasakhda, isku midka ah qaybaha, saxnaanta mashiinnada, iwm.