Daraasad cusub oo ku jirta joornaalka Dheeman iyo Agabka la Xidhiidha ayaa diiradda saaraya dheemanka dheemanka polycrystalline oo leh FeCoB iwm si loo sameeyo qaabab.Natiijadu waxay tahay hal-abuurkan tignoolajiyadeed ee la hagaajiyay, sagxadaha dheemanka ayaa la heli karaa iyada oo aan waxyeello lahayn iyo cillado yar.
Cilmi-baaris: Meel-doorasho dheeman ah oo la xushay oo ku jirta xaalad adag iyadoo la adeegsanayo FeCoB oo leh qaab sawireed.Xuquuqda sawirka: Bjorn Wilezic/Shutterstock.com
Iyada oo loo marayo habka faafinta gobolka adag, filimada FeCoB nanocrystalline (Fe: Co: B = 60: 20: 20, saamiga atomikada) waxay gaari karaan bartilmaameedka qulqulka iyo baabi'inta dheeman ee qaab-dhismeedka yar yar.
Dheemmanku waxay leeyihiin tayada biochemical iyo muuqaal gaar ah, iyo sidoo kale barti iyo xoog sare.adkeysigeeda aadka u ba'an waa isha muhiimka ah ee horumarka mashiinada saxda ah ee aadka u saxda ah (teknoolajiyada leexashada dheemanka) iyo dariiqa loo maro cadaadisyo xad dhaaf ah oo u dhexeeya boqolaal GPa.
Ka-hortag la'aanta kiimikada, adkeysiga aragga iyo dhaqdhaqaaqa bayooloji waxay kordhiyaan fursadaha naqshadeynta ee nidaamyada adeegsada sifooyinkan shaqeynaya.Dheeman waxay magac u yeelatay dhinacyada mechatronics, optics, dareemayaasha iyo maaraynta xogta.
Si loo awoodo codsigooda, isku-xidhka dheemanka iyo qaabkoodu waxay abuuraan dhibaatooyin muuqda.Ion etching reactive (RIE), balaasmaha si firfircoon ugu lammaansan (ICP), iyo ilayska elektarooniga ah ee Etching waa tusaalayaal hab-socodka jira ee isticmaala farsamooyinka etching (EBIE).
Qaab dhismeedka dheemanka ayaa sidoo kale la abuuray iyadoo la isticmaalayo laysarka iyo farsamooyinka farsamaynta ion beam (FIB).Ujeedada farsamadan been abuurka ah waa in la dedejiyo delamination iyo sidoo kale in la oggolaado in la miisaamo meelaha waaweyn ee qaab-dhismeedka wax soo saarka ee isdaba jooga ah.Nidaamyadani waxay isticmaalaan etchants dareere ah (plasma, gases, iyo xalal dareere ah), taas oo xaddidaysa kakanaanta joomatari ee la gaari karo.
Shaqadan gogol-xaadhka ah waxay daraasaysaa wax-is-daba-marinta maadada uumiga kiimikada waxayna abuurtaa dheeman polycrystalline leh FeCoB (Fe:Co:B, 60:20:20 boqolkiiba atomiga) oogada sare.Dareenka ugu weyn ayaa la bixiyaa abuurista moodooyinka TM ee si sax ah u dhejinta qaababka cabbirka mitirka ee dheeman.Dheemanka hoose wuxuu ku xidhan yahay nanocrystalline FeCoB iyadoo lagu daweynayo kulaylka 700 ilaa 900°C 30 ilaa 90 daqiiqo.
Lakabka aan sugnayn ee muunadda dheemanka ah ayaa tilmaamaysa qaab-dhismeed yar oo polycrystalline ah.Qalafsanaanta (Ra) qayb kasta oo gaar ah waxay ahayd 3.84 ± 0.47 nm, iyo wadarta qallafsanaanta dusha sare waxay ahayd 9.6 ± 1.2 nm.Qalafsanaanta (hal hadhuudh dheeman ah) ee lakabka birta ee FeCoB ee la geliyey waa 3.39 ± 0.26 nm, dhererka lakabkuna waa 100 ± 10 nm.
Ka dib markii la tirtiray 800 ° C ee 30 min, dhumucdiisuna waxay kor u kacday 600 ± 100 nm, iyo qallafsanaanta dusha sare (Ra) waxay kor u kacday 224 ± 22 nm.Inta lagu jiro nuugista, atamka kaarboonku waxay ku faafaan lakabka FeCoB, taasoo keentay korodhka cabbirka.
Saddex muunado oo leh lakabyada FeCoB 100 nm ayaa lagu kululeeyay heerkul ah 700, 800, iyo 900°C, siday u kala horreeyaan.Marka heerkulku uu ka hooseeyo 700°C, ma jiro wax xidhiidh ah oo u dhexeeya dheemanka iyo FeCoB, wax aad u yarna waa la saaraa ka dib daawaynta kuleyliyaha.Ka saarista alaabta ayaa kor loo qaaday ilaa heerkul ka sarreeya 800 °C.
Markii heerkulku gaadhay 900°C, heerka etching ayaa kordhay laba jeer marka la barbar dhigo heerkulka 800°C.Si kastaba ha ahaatee, astaanta gobolka xardhan aad ayuu uga duwan yahay kan taxanaha etch la geliyey (FeCoB).
Shakhsiyaad muujinaya sawir-qaadista xaalad adag si loo abuuro qaab: Meel-doorasho adag oo dheeman ah oo meel-doorasho ah iyadoo la adeegsanayo sawir-qaadis ahaan FeCoB.Xuquuqda sawirka: Van Z. iyo Shankar MR et al., Dheeman iyo Alaabta la xidhiidha.
Muunadaha FeCoB ee 100 nm dhumucdiisuna tahay dheeman waxaa lagu farsameeyay 800°C 30, 60, iyo 90 daqiiqo, siday u kala horreeyaan.
Qalafsanaanta (Ra) ee aagga xardhan ayaa loo go'aamiyay iyadoo shaqaynaysa wakhtiga jawaabta 800°C.Adag ee shaybaarada ka dib markii la tirtiray 30, 60 iyo 90 daqiiqo waxay ahayd 186 ± 28 nm, 203 ± 26 nm iyo 212 ± 30 nm, siday u kala horreeyaan.Iyada oo qoto dheer oo etch ah 500, 800, ama 100 nm, saamiga (RD) ee qallafsanaanta aagga xardhan ilaa qoto-dheeraanta etch waa 0.372, 0.254, iyo 0.212, siday u kala horreeyaan.
Qalafsanaanta aagga xardhan si weyn uma korodho marka la kordhiyo qoto dheeraanta etching.Waxaa la ogaaday in heerkulka looga baahan yahay falcelinta u dhaxaysa dheeman iyo dhagaxyada HM uu ka sarreeyo 700 ° C.
Natiijooyinka daraasadda ayaa muujinaya in FeCoB ay si wax ku ool ah uga saari karto dheemanka xawaare aad uga dheereeya Fe ama Co oo keliya.
Waqtiga boostada: Agoosto-31-2023